Eine kompakte Multianlage, viele Einsatzmöglichkeiten

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Pressemeldung der Firma Decker Anlagenbau GmbH

DECKER Anlagenbau, Spezialist für nasschemische Prozesse, bietet Silizium-Herstellern eine flexible Multi-Ätz-Anlage für Polysilizium, mit der alle üblichen Material-Typen behandelt werden können. Egal ob Silizium-Stäbe oder faustgroße Silizium-Brocken, in den Spezial-Körben und Trommeln der Standard-Anlage können auch feines Granulat oder Slabs sorgfältig gereinigt werden: Eine effiziente und flexible Art der Reinigung, die auch den Qualitätsanforderungen der Halbleiterindustrie entspricht.

Aktuell rechnet die Silizium-Industrie wieder mit langsam steigender Nachfrage, besonders in den USA, China und Taiwan. Damit rückt auch der effiziente Umgang mit der Ressource Silizium wieder in den Fokus der Hersteller. „Nicht das Ausgangmaterial, sondern der Herstellungsprozess ist kostenintensiv. So liegt in der effizienten Reinigung des Siliziums zu hochwertigerem Material viel Optimierungspotenzial für die Siliziumhersteller“, hebt Kay Rehberg, Geschäftsführer von DECKER, hervor. Hersteller können mit der kompakten Multi-Ätz-Anlage von DECKER, sehr flexibel reagieren, denn die Anlage erlaubt den Wechsel zwischen allen üblichen Formen und Zusammensetzungen des Ausgangsmaterials auf derselben Reinigungs-Anlage, und ermöglicht auch die Herstellung von hochwertigem Silizium, wie es in der Halbleiterindustrie verlangt wird.

Für Silizium-Granulat, stabförmiges Silizium oder Polybruch sind jeweils spezielle Körbe oder Trommeln vorgesehen, die einfach befüllt werden können und schnell austauschbar sind. Das ermöglicht kurze Umrüstzeiten der Anlage. Die einzelnen Teile können ca. 600 mm lang und ca. 25 kg schwer sein. Je nach Zusammensetzung des zu reinigenden Materials kann mit der Anlage ein Durchsatz von ca. 1.200 Tonnen im Jahr erreicht werden. Hinzu kommen eine effektive Spültechnik und der vergleichsweise geringe Stellflächenbedarf. So gelingt es, die Betriebskosten weiter zu senken. Besonders wichtig ist das Sicherheitskonzept der Anlage. Es ist auf jeden der einzelnen Prozessschritte abgestimmt und bietet von der Bestückung bis zum Trocknen ein Höchstmaß an Sicherheit für Mensch und Umwelt.



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