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– Homogene Prozessergebnisse durch symmetrische chemische Bearbeitung auf beiden Seiten

– Berührungsloser Inline-Klemmrahmentransport für bis zu 25 μm dünne Flexmaterialien

– Ätzen von 25 μm feinen Strukturen

– Bemusterungen im Zhuhai Technology Center möglich

SCHMID hat den Bedarf der Leiterplattenindustrie an hochpräzisen Systemlösungen für Ätzen und Handling vorausgesehen, die den Anfoderungen ständig kleiner werdenden Strukturen und Materialstärken bis auf minimale Größen von 25 μm gerecht werden müssen. Das Entwicklungsteam in Zhuhai hat deshalb neue Wege beschritten und mit Hochdruck an der Fertigstellung einer Vertikalen DES-Linie (Developing/Etching/Stripping) gearbeitet, die alle Anforderungen des Marktes erfüllt und die Lösungen der Mitbewerber deutlich übertrifft.

Neben einer kompletten DES-Linie bietet SCHMID auch vertikale Einzelmaschinen für Entwickeln, Ätzen und Strippen an; ebenso für Flash-Etch Prozesse, Lötstopplack-Entwicklung und Vorreinigung.

SCHMIDs vertikale Prozessanlagen weisen bedeutende Vorteile auf, so zum Beispiel den vollautomatischen, schonenden Inline-Transport, ein wartungsfreundliches Design und einen geringen Platzbedarf verglichen mit horizontalen Prozessanlagen.

Besonders erwähnenswert ist jedoch die beidseitige chemische Bearbeitung der Substrate, die zu völlig identischen Bedingungen erfolgt. Dies zahlt sich vor allem beim Ätzen aus: Durch die Verwendung einer speziellen Chemie, die nur im Moment des Auftreffens auf das Substrat wirksam ist, erzielt man ein absolut homogenes Prozessergebnis und verhindert gänzlich den Puddling-Effekt, der aus horizontalen Anlagen bekannt ist. Bis heute muss dort mit Hilfe aufwändiger intermittierender Sprühtechniken versucht werden, den Effekt auszugleichen.

Ein weiterer Vorteil von SCHMIDs vertikaler Anlage ist der berührungslose Klemmrahmentransport, der die ultrafeinen Strukturen während des Ätzens perfekt schützt. Die feinen Linien könnten in horizontalen Prozessanlagen mit Standardtransportsystemen durch leicht oszillierenden Transport oder den Kontakt mit Rollen beschädigt oder abgelöst werden. Deshalb bietet SCHMID für seine horizontalen Anlagen bereits Klemmrahmentransporte an. Berührungsloses Handling ohne menschliches Eingreifen zahlt sich in erheblich höherem Etrag aus.

SCHMID bietet verschiedene Klemmrahmensysteme für vertikale als auch für horizontale Anlagen für eine große Bandbreite von Materialgrößen an, da die Materiallänge in Laufrichtung sehr flexibel gestaltet werden kann und nur in der Breite begrenzt ist.

Weiterführende Links

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